Passivation Integrity
Passivation Integrity 는 반도체 칩 Passivation Layer 에서 발생된 Crack 과 같은 손상 흔적을 확인하는 분석 기법입니다.
반도체 칩 상단에 위치한 Passivation Layer 는 Metal Layer 을 환경적인 요인 및 절연 측면에서 내부를 보호하기 위한 목적으로 사용되나 EMC Filer 및 다양한 공정 중에
Passivation Crack 과 같은 불량 현상이 발생되게 됩니다. 이러한 손상 부위에 화학물질을 침투시켜 Metal 이 변색되는 현상을 관찰함으로 인해 불량에 대한 분석을 할 수 있습니다.