한국나노분석랩

EMMI

EMMI (Emission Microscope) 는 시료에 전기적 신호를 인가하여 발생되는 열을 검출함으로 인해 불량이 발생된 위치를 검출할 수 있는 장비입니다.

IV Curve 측정 불량모드 중 Short 혹은 Leakage 성 불량모드가 확인된 시료에 대해서는 정확한 파괴분석을 하기위해 필요한 분석 항목입니다.
특히, 시스템의 Lock-In 기능을 활용하여 Noise를 최소화하고 Hot Spot을 증폭시켜 좀 더 정확한 Real Spot 을 검출해 낼 수 있습니다.

분석 기술

Metal Short or Leakage, ESD or EOS Fail, Junction Leakage, Oxide Broken, Migration

장비

EMMI

제작사 및 모델명

HAMAMATSU / THEMOS-Mini

장비 설명

Lens : 0.29x ~ 8X
Thermal Lock-in Unit
EMMI

제작사 및 모델명

HAMAMATSU / PHEMOS-2000

장비 설명

Lens : 0.8x ~ 50x
Front/Backside Analysis