Hybrid Ion Mill System
Hybrid Ion Mill System 은 반도체 부품의 단면이나 평면을 가공하여 거친 표면을 선명하게 만들어 좀 더 정확한 분석이 가능하게 할 수 있는 시료 전처리 장비입니다.
Ar Gas 를 사용한 Ion Beam 을 시료 단면이나 표면에 주사하여 식각하고, 단면분석 시편제작 과정 중 발생되는 스크래치 등의 연마 흔적들을 제거하여 불량 및 구조에 대한 정확한 분석을
가능하게 해줄 뿐 아니라 Delayer 시편제작 공정에 적용하여 특정 위치의 평면분석이 가능한 장비입니다.