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분석기술

구조 분석

SEM/EDS Analysis

SEM (Scanning Electron Microscope), 즉 주사전자현미경은 광학현미경에서 보기 어려운 미세한 부분을 확대하여 관찰하고 성분을 분석할 수 있는 장비입니다.
전자빔(Electron Beam)을 시료 표면에 주사하여 시료 표면에서 방출되는 2차 전자(secondary Electron)를 검출하고 증폭하여 모니터에 영상으로 형상화하는 분석 장치로서,
2,500배 배율까지 확대 관찰할 수 있는 광학 및 디지털 현미경에 비해 최대 50만 배까지의 높은 배율로 시료 관찰이 가능합니다.
또한, SEM 장비 내 장착된 EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscope) Detector 를 이용해 관찰 시료 표면에 구성되어 있는 성분을 분석할 수 있습니다.

분석 기술

Surface Analysis, EDS analysis, Size Measurement

장비

  • SEM/EDS
    제작사 및 모델명
    HITACHI | S-4700
    장비 사양
    Magnification : 20x to 500,000x
    Image resolution : 1.5nm at 15kV
    : 2.5nm at 1kV
    Accelerating voltage : 0.5 to 30kV
    EDS Detector (HORIBA 7200-H)

기술사례

  • Active melt of Transistor
  • Contact spike(due to ESD)
  • IMC size measuremen
  • EDS

기술 및 서비스 문의

  • 분석기술팀 김철수 팀장
    Tel. 031-283-9677
    E-mail. chulsoo.kim@knal.co.kr